您好!欢迎来到西尼特官网! 非标定制|联系我们|网站地图

西尼特

加热设备专业制造商国际品质,经久耐用易维护

全国服务热线: 400-6686-260
西尼特客户案例

东南大学PECVD系统

作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2017.08.09
信息摘要:
客户名称:东南大学客户简介:东南大学位于南京,我国最早建立的高等学府之一,素有“学府圣地”和“东南学府第一流”之美誉。其办学历史最早可以追溯…

客户名称:东南大学

客户简介:

东南大学位于南京,我国最早建立的高等学府之一,素有“学府圣地”和“东南学府第一流”之美誉。其办学历史最早可以追溯到汉后吴永安元年(258年)的南京太学,1902年的三江师范学堂,1921年由近代著名教育家郭秉文先生竭力倡导,以南京高等师范学校为基础正式建立国立东南大学,成为当时国内仅有的两所国立综合性大学之一,素有“北大以文史哲著称、东大以科学名世”之美誉。东南大学现为中央直管、教育部直属的全国重点综合性大学,是中国“211工程”及“985工程 ”重点建设高校,也是我国著名的“建筑老八校”之一。

合作产品:PECVD系统、高真空CVD系统、马弗炉

客户需求:

研究方向涉及新型显示技术(包括等离子体显示、发光二极管显示、液晶显示、三维显示、电子书)、视觉感知、测量规范和技术标准、碳纳米技术、太阳能电池和光波导。

1、最高温度:1200℃;

2、采用三个温度段加热, 加热区长度900mm (300mm+300mm+300mm);

3、石英管尺寸(内径):Φ75×1500 mm(采用进口石英管);

4、控温精度:±1℃,

5、升温速率 1-20℃/min;

6、恒温区:600mm 温度均匀性±2℃

7、炉膛采用进口纤维炉膛,对开式结构;

8、石英管一端密封法兰采用铰链结构方便样品的取放,法兰冷却方式为水冷;

9、反应气体种类:反应气体种类:CH4, H2,N2、PH3、 SIH4、B2H6.

10、量程范围 100-500sccm

11、流量计种类:质量流量计 CH4, H2、N2、 PH3、 SIH4、B2H6.采用美国BROOKS

12、极限真空度 10E-7 torr

13、真空系统采用 分子泵机组(无油 )

14、前级泵为干泵,抽速不低于8L/S;

15、后级泵为复合分子泵,抽速不低于700L/S ( N2);

16、高真空CVD系统-控制系统技术要求:

17、系统采用计算机集中控制;

18、配品牌电脑,处理器I5;

19、 可显示,设定各类气体的流量、历史曲线等;

20、系统带报警功能,超压报警、超温报警、缺水报警;

21、系统采用西门子模块;

产品使用效果:客户满意,多次购买相关产品

东南大学PECVD系统

西尼特拥有一支具备强大技术背景、职业化工作作风的团队,目前拥有超过500多种电炉,处理温度从30℃到2400℃。包括马弗炉,实验室箱式加热炉,智能纤维马弗炉,气氛马弗炉,真空马弗炉。联系方式:400-6686-260

推荐资讯
马弗炉如何选择合理的燃烧方法

马弗炉如何选择合理的燃烧方法

在马弗炉领域中,对现有的燃烧方法进行分析和改进,对新的燃烧方法进行探讨和实验,以不断提高燃料利用率和燃烧设备的技术水平。燃烧是指燃料中的可燃成分(碳、氢、硫及碳氢化合物)与空气中的氧结合后,在一定温度下发生剧烈化学反应放出光和热的过程。完全燃烧是指燃料中的可燃成份,在空气供应量和供应方法都很合适......
2017-08-09
通常化验室使用的高温炉中主要包括哪些,使用时应注意哪些事项?

通常化验室使用的高温炉中主要包括哪些,使用时应注意哪些事项?

分析实验室常用的高温炉有马弗炉、管式炉和高频炉。按发热元件不同又可将其分为电阻丝式、硅碳棒式及高频感应式等几种。高温炉用于灼烧试样、坩埚和沉淀,亦用于试样碱熔等操作。使用较广的是箱式电阻炉。箱式高温炉也叫马弗炉。电阻丝式马弗炉的发热元件为炉内的电阻丝,最高使用为1000℃,常用工作温度为950℃以下......
2017-08-09
真空炉常见故障及处理方法

真空炉常见故障及处理方法

真空炉在使用中常遇见以下故障:(必须由相应技术人员处理)一.电器故障(一)温度异常,包括温度过高报警、或显示温度达不到设定值。温度过高报警故障解除方法:1.首先检查所在工作区温控器参数是否正常,参考其他正常使用中的温控器校对所有参数。2.根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出端是否被击穿,具本方法:......
2017-08-09

咨询热线

400-6686-260