罗茨真空泵机组的选配与使用注意事项
普通罗茨真空泵是不能单独使用的,必须配上合适的前级真空泵组成机组使用。前级真空泵的作用是降低罗茨真空泵的排出压力 ,使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定范围内。罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力的变化而变化的,在高排出压力下,最大压缩比为3:1 ,在排出压力为1~10mbar之间(1 mbar=0.75Torr=1hpa)可达40:1。
罗茨泵的实际运行时的压差不得超过其最大允许压差,一般建议控制在75%以下,否则罗茨泵会出现过热、过载或咬死等情况。
型 号 |
抽气速率 L/s |
最大允许压差 Pa |
配用功率 Kw |
转 速 rpm |
进气口直径 mm |
排气口直径 mm |
整机质量 Kg |
ZJ-70 |
70 |
≥6*103 |
1.5 |
2900 |
80 |
50 |
95 |
ZJ-150 |
150 |
≥6*103 |
3 |
2900 |
100 |
80 |
165 |
ZJ-300 |
300 |
≥5*103 |
4 |
2900 |
160 |
100 |
275 |
ZJ-600 |
600 |
≥4*103 |
5.5 |
2900 |
200 |
160 |
420 |
ZJ-1200 |
1200 |
≥3*103 |
11 |
2900 |
250 |
200 |
980 |
ZJ-2500 |
2500 |
≥3*103 |
18.5 |
2900 |
320 |
250 |
1500 |
罗茨泵的启动必须待前级水环泵抽到罗茨泵的允许启动压力时才可启动罗茨泵。通常罗茨泵的启动压力为其最大压差的1.5倍左右。例如ZJ150的最大压差是6000pa=60mbar,那么其启动压力就是水环泵将系统压力抽到90mbar(-0.092Mpa)时才可启动。 同样ZJ300设定的启动压力为-0.094Mpa左右;ZJ70设定的启动压力为-0.090Mpa左右。
在表1中我们列举了一台水环真空泵和一台至三台罗茨真空泵串联组成的多级罗茨水环真空机组所能达到的真空范围。
表1、多级罗茨水环真空泵机组的组成和真空度一览表
极限压力 |
0.2~0.8 pa (1.5×10-3 ~6×10-3 torr) |
15~25 pa (0.125~0.2torr) |
266~650 pa (2~5torr) |
2500~3500 pa (20~25torr) |
|
允许启动压力 |
2000 pa (15torr) |
5000 pa (37.5torr) |
10000 pa (75torr) |
101323 pa (760torr) |
101325 pa |
|
第四级 |
第三级 |
第二级 |
第一级 |
|
ZJ或ZJP |
ZJ或ZJP |
ZJ |
S |
||
S- 水环真空泵 ZJ-罗茨真空泵 ZJP-带溢流阀罗茨真空泵 |
一般一台罗茨真空泵与一台水环真空泵串联而成的JZJS型二级机组的极限压力仅为250~650pa 左右,如采用二台罗茨真空泵串联一台水环真空泵则机组的极限压力可达到15~25pa,如再增加一台罗茨真空泵则机组的极限压力可更高,将达到0.2 ~0.8pa以上,因而用户可根据不同的使用要求来正确选择机组的级数。
罗茨水环真空机组,由于水环真空泵的抽速和真空度是与其所采用的循环水的温度密切相关的,水温越高水环泵的真空度就越差、抽速也越小 。许多用户会发现罗茨水环机组中与水环泵相连的罗茨泵一般温度较高,特别是夏天的泵温会更高,其实就是因为水环泵循环水(液)的温度变化所造成的。
水环泵的样本参数是指泵采用15℃水作为工作液时的参考值,工作液的温度变化将会影响水环泵的抽气性能。表2提供的参数,可以结合以下公式来换算出进水温度不在15℃时水环泵抽除干燥空气的抽气能力。
以下是泵的抽速换算公式:
(P1 -PC)
S=S15 ×
(P1 -12.78)
式中:S—在P1压力时泵的实际抽速
S15— 采用15℃水作为工作液在P1 压力时的抽速,参考水环泵性能曲线.
P1— 入口压力, 托
PC— 工作液在实际温度时的饱和蒸汽压.
表2为各温度时水的饱和蒸汽压.
水温(C°) |
饱和蒸汽压bar |
饱和蒸汽压mmHg |
蒸汽比溶m3/kg |
15 |
0.017041 |
12.7818 |
77.97 |
16 |
0.01817 |
13.6287 |
73.39 |
17 |
0.019364 |
14.5242 |
69.1 |
18 |
0.02062 |
15.4663 |
65.09 |
19 |
0.02196 |
16.4714 |
61.34 |
20 |
0.02337 |
17.5290 |
57.84 |
22 |
0.02643 |
19.8242 |
51.5 |
24 |
0.02982 |
22.3669 |
45.93 |
26 |
0.0336 |
25.2021 |
41.04 |
28 |
0.03779 |
28.3449 |
36.73 |
30 |
0.04241 |
31.8102 |
32.93 |
35 |
0.05622 |
42.1686 |
25.24 |
通常罗茨泵的真空度要比前级泵的真空度要提高一个数量级,比如水环泵用20℃的循环水时的真空度33mbar(3300pa),那么罗茨泵+水环泵机组的真空度是3.3mbar左右,罗茨泵的最大压差为30mbar左右。由于罗茨真空泵的压差是受限制的,大泵所允许的压差反而小(参考罗茨泵性能参数表),所以与水环泵相连的普通罗茨真空泵一般最大用到ZJ-600以下,否则要采用气冷罗茨真空泵。除非前级水环泵采用低温冷冻水或前级泵采用更低饱和蒸汽压的工作液。
前级泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力。所以前级泵的进口是与罗茨真空泵的排气口直接相连的(图3-2)。
通常在罗茨真空泵与前级泵之间的连接管路上需连接一段弹性管,弹性管可以用金属波纹管,或特制的橡胶弹性管,也可以用内衬金属弹簧的软塑料管,一般大泵的连接都用金属波纹管,小泵的连接三者都可选用。
连接管路与法兰等零件焊接加工后须经过气密性试验,法兰与法兰之间用O型橡胶密封圈或平面密封垫来密封。
在罗茨真空泵的排气口与前级泵的吸入口的连接管上需安装一个电磁或手动充气阀,防止在前级泵停机后由于压差的作用把真空泵油倒吸入真空系统中去。如果前级泵为水环泵,还需安装止回阀 ,防止水环泵停机后泵内循环水的快速反冲,电磁充气阀的动作一般与前级泵的电动机的动作是同步的。止回阀是靠反压差使阀自动关闭的 。
前级管路要有足够的通道能力,否则也会造成前者影响性能,还会使罗茨真空泵产生过热卡死等故障,因为过细、过长的前级管路使通道能力降低 ,罗茨真空泵排出压力会升高,压缩比增大而前级泵却发挥不出原有的抽气作用。
类 型
型号 |
抽气速率 (l/s) |
极限压力 (pa) |
机组组成泵型号 |
配用功率 (kw) |
进气口径 (mm) |
排气口径 (mm) |
||
主泵 |
中间泵 |
前级泵 |
||||||
JZJS-70.110 |
70 |
650 |
ZJ-70 |
|
2BV5 110 |
|
80 |
50 |
JZJS-70.70.110 |
70 |
25 |
ZJ-70 |
ZJ-70 |
2BV5 110 |
|
80 |
50 |
JZJS-150.70.110 |
150 |
25 |
ZJ-150 |
ZJ-70 |
2BV5 110 |
|
100 |
50 |
JZJS-150.70Z.110 |
150 |
25 |
ZJ-150 |
ZJ-70Z |
2BV5 110 |
|
100 |
50 |
JZJS-300.161 |
300 |
650 |
ZJ-300 |
|
2BV5 161 |
|
150 |
50 |
JZJS-300.150.131 |
300 |
25 |
ZJ-300 |
ZJ-150 |
2BV5 131 |
|
150 |
50 |
JZJS-600.150.131 |
600 |
25 |
ZJ-600 |
ZJ-150 |
2BV5 131 |
|
150 |
50 |
JZJS-1200.300.161 |
1200 |
25 |
ZJ-1200 |
ZJ-300 |
2BV5 161 |
|
300 |
100 |
JZJS-600.300. 150.131 |
600 |
0.1 |
ZJ-600 |
ZJ-300 ZJ-150 |
2BV5 131 |
|
150 |
50 |
JZJS-1200.300. 150.131 |
1200 |
0.1 |
ZJ-1200 |
ZJ-300 ZJ-150 |
2BV5 131 |
|
150 |
50 |
首次使用时必须在其进气口安装目数较大的过滤网,以免管道内的异物进入泵腔造成泵的卡死和电机损坏。
罗茨真空泵两端油箱需要定期补充润滑油,我们目前使用的是100号机械真空泵油。
如果在运行时发现油位低于上述情况,必须立即停机补充润滑油。加油时注意对真空机组的破空 ,严禁机组在真空状态时对罗茨泵加油,否则会损坏罗茨真空泵。
另外,如果罗茨机组用于抽除可凝性气体的工况时真空泵油会出现乳化现象,一旦油有乳化必须及时更换 。否则会损坏轴承、齿轮、机械密封等零件。
首次使用罗茨泵时必须点动罗茨泵,正确调整好其转向,严禁泵的翻转 。
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