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单温区PECVD系统
CNT等离子体增强沉积炉是专业生长高质量石墨烯、碳纳米管、二维硫化钼的专用设备,也可用用于碳化硅、金属薄膜、陶瓷薄膜其他材料的生长,已经广泛应用于航空航天、微电子、生物医药、纳米材料等领域。
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